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可定制1200、1700气相沉积炉

2019/12/31 5:09:18发布166次查看
三路浮子混气系统由yg--1706管式炉,三路浮子混气系统,内置测温系统及真空系统等组成。真空泵采用双极旋片真空泵,真空度可达到5x10-1torr;内置测温系统可实时监测反应管内的温度变化。适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。
主要技术参数:
yg-1706
真空管式炉
双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好
加热元件采用进口优质u型硅钼棒,表面负荷高,大大提高了其使用寿命
电压
ac220v 50hz/60hz;功率:6kw
炉管
采用99氧化铝刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂
尺寸:φ40/60/80*/1000mm
4个氧化铝管堵
法兰及支撑
sus304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀
一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷
可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑
包含进气、出气、真空抽口针阀,kf密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等
加热系统
加热元件:6根u型硅钼棒
加热区长度:280mm
恒温区长度:100mm
工作温度:≤1600℃
最高温度:1650℃
升温速率:≤10℃/min
温控系统
温度控制采用人工智能调节技术,具有pid调节、自整定功能
50段升降温程序
测温元件:b型双铂铑热电偶
恒温精度:±1℃
三路浮子
混气系统
三路浮子流量计配置在移动工作台上,可以同时通入三路不同的气体
内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀
管路采用聚四氟乙烯软管,耐温耐腐
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
流量规格:0.3~3l/min
控制精度:±5%
低真空系统
采用双极旋片真空泵,真空度可达5x10-1 torr 
不锈钢充油真空压力表,良好的抗震性
内置测温系统
测温元件可从加热区边缘延伸至温区中心
法兰密封,保证炉管的密封性
测温元件:b型双铂铑热电偶
尺寸
高温炉:660*580*910mm
混气移动工作台:800*540*720mm
可选配件
hqz混气系统,中、高真空系统,各种刚玉坩埚,刚玉管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机等。

上海煜志机电设备有限公司

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