产品信息 特 长 薄膜到厚膜的测量范围、uv~nir光谱分析 高性能的低价光学薄膜量测仪 藉由反射率光谱分析膜厚 完整继承fe-3000机种90%的强大功能 无复杂设定，操作简单，短時...
膜厚量测仪 fe-300 产品详情
产品信息
特　长
薄膜到厚膜的测量范围、uv~nir光谱分析
高性能的低价光学薄膜量测仪
藉由反射率光谱分析膜厚
完整继承fe-3000机种90%的强大功能
无复杂设定，操作简单，短時間內即可上手
线性最小平方法解析光学常数（n:折射率、k:消光系数）
测量项目
反射率测量
膜厚解析（10层）
光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）
产品规格
样品尺寸
8寸晶圆（厚度5mm）
测量时间
0.1s ~ 10s以內
量测口径
约φ3mm
通讯界面
usb
尺寸重量
280（w）× 570（d）×350（h）mm，约24kg
软体功能
标准功能
波峰波谷解析、fft解析、化法解析、最小二乘法解析
选配功能
材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析
※1请于本公公司联系联系我们※2对比vlsi标准样品（100nm sio2/si），范围值同保证书所记载※3测量vlsi标准样品（100nm sio2/si）同一点位时之重复再现性。（扩充系数2.1）
应用范围
半导体晶圆膜（光阻、soi、sio2等）光学薄膜（oc膜、ar膜、ito、izo膜等）
测量范例
pet基板上的dlc膜
si基板上的sinx